纳米级三维激光直写设备

        由魔技纳米自主研发的拥有独立知识产权的商用纳米级三维激光直写设备,能同时兼顾高精度和高自由度,实现在纳米级精度上三维结构的自由设计,具有高速度、超分辨、大范围、无限视场等技术优势

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主要技术参数

最小加工线宽(nm):≤120

高精度台重复精度(nm):≤10

垂直分辨率(直写线间隔)(nm):≤500

横向分辨率(直写线间隔)(nm):≤300

界面定准精度(nm):≤50

扫描振镜模式写入速度(mm/s):≥20

扫描频率(k Hz):<200

高精度台单次扫描空间(μm):≥300×300×300

最大线速度(mm/s):200

单结构成型尺寸(100X镜头)(μm):100

最大加工幅面(mm):≥150×150

加工器件高度(mm):≥8

表面粗糙度(nm):<20