双光子,微纳3D打印,三维光刻,跨尺度微纳加工,自相关仪,自动显影机,飞秒激光加工,生物打印

PROME-Uni

基于多光子聚合原理的超高效率一体化微纳三维加工设备

  • PROME-Uni采用模块化的光机电设计,具有长时稳定性,拥有极高的灵活性和可扩展性,适应不同尺度的精密加工需求。为科研和工业领域提供全新的3D加工技术解决方案,适用于微光学器件、微流控芯片、微机械、超材料、微纳传感器件光子芯片集成等领域。

主要特点:

高精度

- 最小特征尺寸≤70nm,表面粗糙度≤10nm

- 纳米级定位

- 无拼接式加工

超高速度

- 最高扫描速度可达80000mm/s

- 并行加工

高稳定性

- 恒温恒湿控制系统

- 光学自稳定、加工面自动平整、加工面自动聚焦

高灵活性

- 多种加工模式可选,快速升级和扩展

- 专业模式和智能模式可选的全自动可视过程控制系统

- 图形化和过程编辑语言,提高设备调控自由度

- 高精度探测与位置定位模块、超高速加工模块

跨尺度微纳三维加工

- 加工体积不受限

- 足够空间便于改进样品夹具

如需设备参数,请致电0535-6981985、18615037228