加工原理：多光子聚合

最小特征尺寸(XY)：160 nm *

最小特征尺寸(Z)：400 nm *

最佳表面粗糙度 Ra：≤ 20 nm *

加工样品最大高度：25 mm

最大加工体积：50 mm x 50 mm x 25 mm

* 与光刻胶材料和所用物镜有关