紧凑型、桌面级、经济型设计,基于多光子聚合原理,实现纳米级精度三维结构加工。封闭光路设计,独特隔振温控系统,使得小型化、经济型设备也具有极高的长时稳定性。160nm的三维加工精度满足科学研究或设计建模的使用要求。
加工原理:多光子聚合
最小特征尺寸(XY):160 nm *
最小特征尺寸(Z):400 nm *
最佳表面粗糙度 Ra:≤ 20 nm *
加工样品最大高度:25 mm
最大加工体积:50 mm x 50 mm x 25 mm
* 与光刻胶材料和所用物镜有关